眾所周知，中國本土芯片廠商在引進(jìn)最新的7nm等級先進(jìn)光刻機(jī)時，不算一帆風(fēng)順。在之前的多篇文章中，不少讀者在評論區(qū)表示：既然核武、航母、基建重工領(lǐng)域，中國可以通過引進(jìn)+逆向開發(fā)模式打破眾多技術(shù)壁壘，為什么不能把ASML的光刻機(jī)“復(fù)刻”出來？
光刻機(jī)是否比原子彈還難造？
對于上述問題，本文不會過多從光刻機(jī)的各部零件、核心結(jié)構(gòu)以及產(chǎn)品供應(yīng)鏈這些繁復(fù)、細(xì)節(jié)角度去討論，咱們只談核心問題：為什么中國難以對ASML光刻機(jī)進(jìn)行逆向開發(fā)。
禁錮一：光刻機(jī)合同約束逆向開發(fā)第一步，得先把設(shè)備買回來。
1、商業(yè)合同約束：荷蘭ASML是全球唯一一家生產(chǎn)應(yīng)對7nm+先進(jìn)制程光刻機(jī)的企業(yè)。中國企業(yè)作為其重要客戶，在設(shè)備采購方面需要面臨相當(dāng)繁瑣的交易合同洽談甚至綜合審查。
2、政策協(xié)議約束：在獲得ASML公司在企業(yè)層面的合作確認(rèn)之后，還要經(jīng)過荷蘭政府的進(jìn)出口相關(guān)政策、法規(guī)約束。荷蘭政府對此設(shè)置了超出了國際間一般商品采購審核標(biāo)準(zhǔn)，在極端情況下（如2019年末的7nm光刻機(jī)供應(yīng)問題）會受ASML公司核心股東所在國政府的超前干涉。
3、技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)約束：簡而言之，中國企業(yè)想要購買光刻機(jī)這一大國重器（也是地表最強(qiáng)印鈔機(jī)），需要保證不得侵犯、破壞、影響ASML相關(guān)產(chǎn)品、知識產(chǎn)權(quán)的合法權(quán)益。逆向開發(fā)則是絕對被禁止的（你都學(xué)會了，我以后賺誰的錢去？）。
特殊歷史時期帶來的重大機(jī)遇，可遇不可求
在這一點(diǎn)上，中國很難像冷戰(zhàn)結(jié)束后“全資收購烏克蘭”一樣，將前蘇聯(lián)20世紀(jì)頂級軍事科研技術(shù)（甚至生產(chǎn)線、生產(chǎn)材料、專家、專家親屬）一股腦全買回來在國內(nèi)安家落戶。這一點(diǎn)也是目前最難攻克的問題~ 荷蘭不傻，美國不讓，中國亦不便... ...。
因此，合同及法規(guī)約束是ASML光刻機(jī)的“軟件防護(hù)”措施。
禁錮二：光刻機(jī)設(shè)備暗門及密保設(shè)置逆向開發(fā)第二步，把設(shè)備拆開。
關(guān)于這一點(diǎn)就非常容易理解了，我們直接引用ASML首席執(zhí)行官彼得·溫尼克的話即可：
“ASML的EUV光刻機(jī)結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，不存在被復(fù)制的可能性。我們所有的光刻機(jī)都裝有（一系列）傳感器，任何異常的非法操作都將被檢測并立即發(fā)出警告，（我們也會第一時間獲悉）。”
ASML CEO：彼得.溫尼克（Peter Wennink）
這種類似先進(jìn)武器、裝備自毀裝置的傳感器設(shè)置，也是ASML為確保其光刻機(jī)全球獨(dú)家壟斷地位的“硬件裝備”。
禁錮三：賣方市場的環(huán)境約束機(jī)器買回來，拆開了，萬一逆向開發(fā)失敗怎么辦？
相對于高鐵技術(shù)、核能技術(shù)以及各類光機(jī)電產(chǎn)業(yè)而言，中國得以進(jìn)行技術(shù)產(chǎn)品逆向開發(fā)的基礎(chǔ)，就是“采購源”的可替代性。日本的高鐵技術(shù)不行咱們可以上德國的，美國的核能技術(shù)不賣我們可以和法國談。
然而，在AMSL光刻機(jī)的問題上，我們處于嚴(yán)重的賣方市場環(huán)境——即產(chǎn)品供應(yīng)方處于絕對壟斷且獨(dú)家供應(yīng)的角色。一旦我方?jīng)Q定突破上述禁錮一、二的約束，強(qiáng)行展開逆向開發(fā)，接踵而來的必將是ASML方徹底斷供外加跨國訴訟、巨額違約賠償。
如無意外的話，ASML的核心股東所在國（如美韓等國）政府也會參一腳，在相關(guān)領(lǐng)域的產(chǎn)品、技術(shù)、知識產(chǎn)權(quán)交易、轉(zhuǎn)讓問題上痛下死手。
禁錮四：供應(yīng)鏈約束這道坎的意義，近乎于“開戰(zhàn)信號”。結(jié)合目前我國在自主光刻機(jī)領(lǐng)域的研發(fā)進(jìn)程來看，至少在短期（5年左右）內(nèi)難以輕松逾越。
機(jī)器買回來、拆開了、逆向開發(fā)成功，然后呢？
且不談一臺先進(jìn)級光刻機(jī)所需的數(shù)以萬計的核心零部件、技術(shù)難題、產(chǎn)業(yè)鏈國有化程度等問題，我們只談光刻機(jī)核心構(gòu)件之一——物鏡系統(tǒng)。全球僅有德國的卡爾蔡司（Carl Zeiss）一家公司能夠?yàn)樗a(chǎn)、供應(yīng)光學(xué)鏡頭系統(tǒng)。
很多讀者會問，光刻機(jī)就算了，造光學(xué)鏡頭還會比原子彈還難？
答案其實(shí)很簡單，舉個眼前的例子吧：
日本索尼花巨資注入卡爾蔡司，為其光學(xué)影像部門研發(fā)、制造優(yōu)秀的攝影、攝像鏡頭產(chǎn)品。然而，所有打著“Sony”標(biāo)志的Zeiss鏡頭（以及其他攝影）產(chǎn)品，基本都是產(chǎn)自“索尼蔡司鏡頭”的亞洲工廠。而真正意義上的德國卡爾蔡司原廠鏡頭，產(chǎn)地依然源自歐洲。更進(jìn)一步說，蔡司制造高素質(zhì)鏡頭玻璃、鍍膜的原材料，依德國法律規(guī)定完全禁止出境。
因此，作為民用消費(fèi)級的攝影鏡頭即被如此銅墻鐵壁般“保護(hù)”起來，可想而知作為光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)的光學(xué)鏡頭，又是何等保密級別的存在。
至于我國能否生產(chǎn)出媲美卡爾蔡司的光學(xué)鏡頭，這一點(diǎn)我想攝影圈的朋友們早已知曉答案。我國在先進(jìn)光學(xué)鏡頭及自動對焦方面的技術(shù)積累，目前還是暫且不夠的。
總結(jié)物鏡系統(tǒng)只是光刻機(jī)三核心之一，其他各類處于相關(guān)各國嚴(yán)格技術(shù)保密、專利禁止轉(zhuǎn)讓級別的產(chǎn)品、知識產(chǎn)權(quán)還有很多，這些都是對光刻機(jī)進(jìn)行逆向開發(fā)所要面對的重重難題。
本文寫這么多，并非是為漲別人志氣滅自己威風(fēng)，說到底是希望更多愛國民眾可以了解光刻機(jī)領(lǐng)域的現(xiàn)狀，以及我國芯片產(chǎn)業(yè)目前所處的環(huán)境和角色。光刻機(jī)的國產(chǎn)化是歷史必然，但現(xiàn)在仍是我國芯片行業(yè)所涉各產(chǎn)業(yè)鏈、各環(huán)節(jié)、各公司潛心學(xué)習(xí)、循序前行、經(jīng)驗(yàn)積累的階段。
我國目前已掌握12~14nm芯片的設(shè)計研發(fā)生產(chǎn)流程，目前國內(nèi)也有至少三家（中芯、華虹、弘芯）具備14nm制程生產(chǎn)能力的先進(jìn)晶圓廠，且12~14nm芯片目前仍屬于“性能級”產(chǎn)品（參照Intel 2020年最新發(fā)布的Comet Lake系列酷睿處理器，仍使用14nm改良版制造工藝生產(chǎn)）。因此，我們當(dāng)前面臨的問題不僅是7nm光刻機(jī)何時供貨，更重要的依然是14nm等級光刻機(jī)及對應(yīng)產(chǎn)品的進(jìn)一步擴(kuò)容、增產(chǎn)、吃透。
國際競爭瞬息萬變、永不停歇，在適當(dāng)?shù)臅r間節(jié)點(diǎn)迅速適應(yīng)環(huán)境、調(diào)整自身角色和心態(tài)才是做有用功。先進(jìn)光刻機(jī)的逆向開發(fā)，是否就是適合我國的最佳路線？這也并非是一條必須打破頭走到底的單線思維，相信我們的科研力量、相信國家的政策扶持，只要付諸努力，必然有所收獲。
附注說明：
我國在5nm蝕刻機(jī)所獲得的重大進(jìn)展，不等于具備5nm芯片的生產(chǎn)能力；具備本土完全自主知識產(chǎn)權(quán)和產(chǎn)業(yè)鏈供給的國產(chǎn)光刻機(jī)，制造工藝為90nm；華為海思、中芯國際均具備芯片研發(fā)能力，但前者為Fabless企業(yè)，不具備芯片生產(chǎn)能力，而后者具備28nm、14nm等先進(jìn)晶圓生產(chǎn)線；中國本土內(nèi)最先進(jìn)的光刻機(jī)，是海力士（韓國）無錫廠的7nmEUV級產(chǎn)品，并非我國所屬；ASML在2019年交付26臺光刻機(jī)，2020年將交付35臺，2021年預(yù)計為50臺左右；ASML先進(jìn)級光刻機(jī)單臺售價約1億美元以上；荷蘭希望和中國好好做生意；光刻機(jī)比原子彈、核航母還難造。參考閱讀：
中芯國際痛失EUV光刻機(jī)，7nm之路命運(yùn)多舛國產(chǎn)頂級光刻機(jī)滯留90nm工藝，中芯、長江、華虹手里全是荷蘭ASML荷蘭ASML首席執(zhí)行官證實(shí)：中芯國際光刻機(jī)仍未獲出口批準(zhǔn)*本文原創(chuàng)首發(fā)于今日頭條——淘數(shù)碼頭條號，未經(jīng)授權(quán)禁止轉(zhuǎn)載。
